干式无油真空泵 半导体、工业领域用真空泵、

ZN 干式螺杆真空泵的优点

1、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可 适应恶劣工况；不耗油，无滴漏 

2、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气 体；结构简单，维护方便。

3、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环 保压力，气体回收更便捷。

干式螺杆真空泵工作原理主要是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的 左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋桨螺旋槽分割成多个空间、形成 多个级，气体在相等的各个槽内进行传输运动，

无压缩，只有螺杆末端的螺旋结构才对 气体有压缩的作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比，各部间隙 和泵转速对泵的性能有很大影响。

在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精 度和工作环境等。干式螺杆真空泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。